SiBrickScan

Analiza kisika u silikonskim ingotama

SiBrickScan (SBS) prvi je komercijalno dostupan sustav za određivanje gradijenta kisika u cijelim ingotama uzduž glavne osi bez potrebe za dugotrajnom i destruktivnom pripravom tankih uzoraka. Doređivanje kisika sa FTIR spektroskopijom (ASTM/SEMI 1188) je inače dobro poznata i važna metoda analize, iako ograničena na tanke uzorke Si u području niskih mm, što ne ograničava SiBrickScan sustav.