CryoSAS

Sustav za analizu kriogenog silicija

CryoSAS bio je razvijena kao "all in one" sustav za analizu nečistoća pri niskim temperaturama i kontrolu kvalitete silicijevih kristala.

CryoSAS je optimiziran za rad u industrijskom okruženju, kombinirajući Brukerov FTIR interferometar visokih performansi s ugrađenim sustavom krio-hlađenja zatvorenog ciklusa, koji ne treba tekući dušik ili tekući helij.

Rad CryoSAS sustava je u potpunosti automatizirano i uključuje izvještavanje o rezultatima analiza prema SEMI i ASTM standardima.